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    浅析氦质谱检漏仪的工作原理和用途
    发布时间:2022-09-29   点击次数:224次
           氦质谱检漏仪是用氦气或者氢气作示漏气体,以气体分析仪检测氦气而进行检漏的质谱仪。氦气的本底噪声低,分子量及粘滞系数小,因而易通过漏孔并易扩散;另外,氦系惰性气体,不腐蚀设备,故常用氦作示漏气体。将这种气体喷到接有气体分析仪(调整到仅对氦起反应的工作状态)的被检容器上,若容器有漏孔,则分析仪即有所反应,从而可知漏孔所在及漏气量大小。
      
      工作原理:
      
      氦质谱检漏仪主要有离子源、分析器、收集放大器、冷阴极电离真空计组成。离子源是气体电离,形成一束具有特定能量的离子;分析器是一个均匀的磁场空间,不同离子的质荷比不同;在磁场中就会按照不同轨道半径运动而进行分离,再设计时只让氦离子飞出分析器的缝隙;打在收集器上;收集放大器收集氦离子流并出入到电流放大器。通过测量离子流就可知漏率,冷阴极电离真空计指示质谱室的压力保护装置。
      
      用途:
      
      氦质谱检漏仪是用氦气作示漏气体,以气体分析仪检测氦气而进行检漏的质谱仪。氦气的本底噪声低,分子量及粘滞系数小,因而易通过漏孔并易扩散;另外,氦系惰性气体,不腐蚀设备,故常用氦作示漏气体。目前,氦质谱检漏仪的应用已从科学院、大专院校、实验室及少数科研机构走向工矿企业,甚至乡镇企业、个体企业,可以说它的应用领域是极其的广泛。
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